干式真空泵的應用范圍

              點擊次數:   更新時間:19/12/03 15:52:12     來源:www.cakedecorating-secrets.com關閉分    享:
                原有的機械真空泵普遍存在著工作介質返流的現象,這一現象會影響到產品的品質,讓設備的維護變的艱難,但如果使用的是干式真空泵就不會出現這一現象,因此它在多個行業中推廣開來。那么它具體都能夠應用在哪些領域呢?
                1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
                2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
                3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
                4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等;
                5、將真空泵用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
                干式真空泵的應用要還是在以上幾個方面,從而達到理想的使用效果。并且隨著其性能的逐漸提升,該設備的應用范圍也在逐漸擴大,從而被更多的企業所使用。2021.6.29

              干式真空泵


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